灰度光刻,显影结果产生不明山谷状纹路
光刻的图形如下,是113阶的灰度长方形,整张图全部113阶
显影结果如下,显影后理想状态应该是十分平整的长方形,可是实际结果却出现不明山谷状纹路
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