光刻机离轴照明衍射光学元件的结构设输入光束为高斯光束，算法用gs算法
具体指标包括:入射光束为直径1.5mm平面波，光强为高斯分布，波长193nm; DOE通光口径为1.5mm，目标平面与DOE所在平面的距离为175mm，目标平面光场分布形式为偶极照明，外半径10.5mm，内半径7 .5mm，极角45°，照明区域内要求光强均匀分布，光能利用率≥80%，光强不均匀性≤20%
最后得出来的图像包括下面这几个，输出光的平面图，3D图，输入光高斯光束的3D图，还有最后得到的相位结构的图
麻烦写代码的时候最好注释一下每句在干什么谢谢
