混合键合键合机对准标识

Question

芯片到晶圆混合键合中，对准标识在芯片和晶圆上的位置以及对准机对准标识的尺寸分别是多少？

Answer 1

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芯片到晶圆混合键合中，对准标识在芯片和晶圆上的位置是10MM。对准标识的尺寸是15MM X 15MM。