SEMI G85 0703与1101的差异是什么？

Question

谁知道SEMI G85-1101 与 G85-0703 的差异？目前能够找到的资料都是G85-0703的，对于G85-1101的资料找不到。

Answer 1

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SEMI G85 0703 与 1101 的差异是什么？

SEMI G85-0703 和 G85-1101 都是半导体行业的标准规范，用于描述 semiconductor manufacturing equipment 的性能和测试方法。根据 SEMI 的官方文档，G85-0703 和 G85-1101 都是关于 wafer handling equipment 的标准，但是它们之间存在一些差异。

G85-0703 主要关注 wafer handling equipment 的性能和测试方法，包括 wafer handling capacity、wafer handling speed、wafer handling accuracy 等方面。

G85-1101 则是 G85-0703 的更新版本，添加了更多的测试方法和性能指标，包括 wafer handling equipment 的 vibration resistance、temperature range 等方面。

因此，G85-1101 比 G85-0703 更加详细和完善，涵盖了更多的测试方法和性能指标。

如果你需要更多的信息，可以查看 SEMI 的官方文档或联系 SEMI 的官方代表。